Spin Dryer (LCS-III)
|
Функции
- центрифужная сушка с подачей горячего азота, автоматический цикл «ополаскивание — центрифугирование — термосушка»,
- прямой привод двигателя (без ремня — исключение загрязнения), динамическая балансировка.
Применение
- кварцевые пластины (blanks) и подложки после очистки.
Характеристики
- 100–900 об/мин,
- 4 станции (2 MASK + 2 круглые корзины),
- ПЛК Delta,
- PFA-арматура Daikin,
- камера SUS304 электрополированная,
- нагрев крышки силиконовой плёнкой.
Габариты
- 920×1250×980 мм.
Назад в раздел