Blank Cleaning Machine
|
Функции
- полностью автоматическая многоступенчатая ультразвуковая очистка кварцевых пластин (blanks) и заготовок,
- 7 ванн: 2 моющих (28+40 кГц) + распыление + 4 ультрачистая вода (40+135 кГц), робот-манипулятор с сервоприводом.
Применение
- кварцевые, полупроводниковые, сапфировые пластины и заготовки (blanks) в MASK/корзинах.
Характеристики
- нагрев до 85 °C,
- нержавеющая сталь SUS304 8K,
- амплитуда встряхивания 30 мм,
- сенсорное управление,
- самоциркуляционная фильтрация 5 мкм.
Габариты
- 4310×1400×1900 мм,
- ~39 кВт.
Назад в раздел